deposition），先通过氢成膜形成较薄的防氧化膜，再通过氧成膜实现质量更高的钌膜成膜。通过这种方法，可消除因氧造成基板氧化的顾虑，同时还能抑制因氢成膜引起的钌纯度下降。在本开发的过程中，成膜工艺的设想方案由韩国岭南大学工科学院新材料工学部的soo－hyun

June 23, 2022 by: acn

田中贵金属工业确立了有助于提高半导体的微细化和持久性的钌成膜新工艺

TOKYO, Jun 23, 2022 – (亚太商讯 via SEAPRWire.com) – 田中贵金属集团旗下经营制造事业的田中贵金属工业株式会社（总公司：东京都千代田区、执行总裁：田中浩一朗）宣布确立了液…